第66章 双工件台
第66章 双工件台 (第2/3页)
测量基准。进口的被封锁，国内又找不到能造的厂。"
"测量基准……"夏若雪若有所思，忽然说，"我导师，以前跟我提过一个地方。"
"什么地方？"
"国家精密仪器研究院。"夏若雪说，"那里有位何院士，专攻纳米级精密测量。他年轻时，主持过龙国第一台光刻机的预研——虽然那台机器没造出来，但他的团队，手里有全套的基准台设计方案。"
苏宇的呼吸，微微一窒。
"你认识何院士？"
"我导师是他当年的学生。"夏若雪说，"其实昨晚，我已经给我导师打过电话了。何院士一听说是造EUV光刻机，当场就说，要买票来魔都看看。"
苏宇看着她，忽然有些发怔。
这个平日里安安静静的姑娘，在他最需要的时候，总能从兜里掏出一张他想不到的牌。
而且，她早就替他想到前面去了。
"若雪，"他认真地说，"这次，又要欠你一个人情了。"
"什么人情。"夏若雪弯了弯嘴角，"你的事，不就是我的事吗？"
她顿了顿，又补了一句："粥，趁热喝。凉了伤胃。"
第二天下午，京城来的高铁，准时停靠在魔都站。
何院士今年六十七岁，头发花白，精神矍铄。他一下车，目光就锁定了苏宇，上下打量了一番，忽然笑了。
"小苏是吧？"他拍了拍苏宇的肩膀，"若雪那丫头给我打电话，说你这边在造EUV光刻机。我一开始还不信——现在看你这架势，是真要干啊。"
"何院士，"苏宇郑重道，"工件台测量基准的事，拜托您了。"
"走，先看光源。"何院士摆摆手，"别的不用多说。你们若雪那孩子，很少求人。她开口，我老头子，一定尽力。"
何院士在总装车间里，整整转了一上午。
他先看了极紫外光源——光源组的人给他演示了出光，何院士盯着那束紫外光，沉默了很久，才说了一句："这束光，我等了二十年。"
他又看了光学镜组的预装结构，用手轻轻拂过镜架，像是在抚摸一件失而复得的宝贝。
"老陈那套镜组设计，我认识。"他说，"当年在硅谷，他就说过，总有一天要回来，造龙国自己的光刻机。"
最后，他才停在工件台前，围着它走了三圈。
"有意思。"他摘下眼镜，擦了擦，又重新戴上，"这个结构，是借鉴了艾斯摩尔的方案，但又改了不少。你们这套设计，底子不差。"
"问题，出在基准台上。"他指着工件台的底座，"这个材料，热膨胀系数3.8×10⁻⁶。做普通机床，够用。做纳米级对准——差了两个数量级。"
"何院士，有解吗？"王磊急切地问。
"解，有。"何院士慢条斯理地说，"我们研究院，存着一套二十年前的方案——低热膨胀合金基准台。当年是为了国家光刻机项目备的料，项目停了，方案也封存了。"
"封存了？"
"封存了。"何院士笑了笑，"但图纸，还在。"
他转身，从随身的公文包里，小心翼翼地掏出一个牛皮纸档案袋。
"这套方案，封存了二十年。"何院士把档案袋放在桌上，"今天，算是我把它，交到对的人手里了。"
当晚，星辰光刻总装车间，灯火通明。
何院士带来的团队，连夜把封存的基准台方案，与苏宇的系统图纸进行比对、整合。
"何院士，您看这里——"王磊指着图纸上的一处结构，"这个补偿算法，我们能不能跟这个材料的热膨胀曲线做耦合？"
"可以。"何院士眼睛一亮，"你小子
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